流量測量技術之(zhi) 微小流量 的測量     
半(bàn)導體制造業、生物(wù)工程、精細化工等(deng)的興起，使流量測(ce)量向低端延伸，小(xiao)流量計流量的要(yào)求在上世紀 80 ∽ 90 年代凸顯起(qǐ)來。何謂小流量 ? 業界尚無*的定(dìng)義和界限，小流量(liàng)因應用領域而異(yì)是一個模糊的概(gài)念。管道小流量測(cè)量體現于管徑小(xiǎo)和流速低兩個層(ceng)次，就❄️流程工業而(er)言，習慣上 DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管徑(jing)流量測量稱之小(xiao)流量測量，通常其(qi)流量值液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以下，流(liu)量儀表滿度流量(liàng)時的流速低于 0.1m/s 。
1 、測量方法(fa)
傳統小流量(liàng)測量技術節流差(chà)壓 ( 層流 ) 法、浮子法和容積(jī)法等有了的改進(jìn)，新測量技術如超(chao)聲法㊙️、熱法、科裏奧(ào)利法等也有成效(xiào)地應于液體和氣(qi)體小流量測量🈲。
2 、特點
微小(xiao)流量與一般流量(liang)測量相比較，具有(you)以下特點。
1) 雷(lei)諾數低
一般(bān)管道流動均爲紊(wen)流流動，流量儀表(biao)也是針對紊流流(liú)😄動态設計的，而小(xiǎo)流量儀表因管徑(jing)小常處于層🐇流流(liu)動 ( 例如管内(nei)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層(ceng)流 / 紊流過渡(du)區流态流動，小流(liú)量測量受使用中(zhong)流體黏度☂️變化影(ying)響頗大。
2) 要用(yòng)實際使用流體校(xiao)準
液體流量(liang)儀表一般用水校(xiào)準，氣體用空氣校(xiào)準。若知道實際測(cè)量流體與校準流(liú)體間某些物性不(bú)同對示值有規律(lü)🙇‍♀️變化🏃🏻‍♂️時，中⚽大管徑(jing)流量儀表常以适(shì)當系數修正。但有(yǒu)些小流量儀表受(shòu)黏度等流體物性(xing)影響大，須以實際(ji)使用流體校準。所(suǒ)幸👄流量小，用實際(jì)使用流體校準難(nán)度不大，但在作有(you)害性流體校準時(shi)應注意♻️安全和環(huan)境污😘染。
3) 要求(qiu)測量時防止污染(ran)流體
若測量(liàng)潔淨氣體和純水(shuǐ)常不允許接觸流(liu)體的儀表零件材(cái)料析出離子，例如(ru)半導體制備中儀(yí)表不能用金屬和(he)玻璃制成，隻能用(yong)塑料。流體中也不(bu)允許混入活動件(jian)✂️的磨蝕塵粒。流量(liàng)儀表流通通道要(yào)🤟盡可能簡單，不應(ying)有潴留 ( 指液(ye)體在體内不正常(chang)地聚集停留 ) 部位，防止潴留介(jiè)質變質。
4) 氣泡(pào)和塵埃附着的影(ying)響
因管徑小(xiǎo)黏性增加，液體中(zhōng)微細氣泡易在管(guan)系流動過✔️程中🚶積(ji)💰聚變大，使測量時(shí)指示不穩，度下降(jiang)。流體中塵埃附着(zhe)㊙️測量元件也要影(ying)響測量值，例如浮(fú)子流量💔計的浮子(zǐ)上沉積有肉眼覺(jiào)察不出的附着⁉️層(ceng)也會影響示值。
5) 流量儀表品種(zhǒng)使用上受到一定(ding)限制
在衆多(duō)測量原理流量儀(yí)表中，因各種原因(yīn)小流量應💃🏻用受到(dao)一些限制，當前能(neng)應用于小流量的(de)品種如表格所示(shì)